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  • 技術課題
  • 装置の配線上の都合から、ステージのケーブルを延長したい。

装置の配線上の都合から、ステージのケーブルを延長したい。

  • 対象製品

    ピエゾステージ

  • 課題

    ピエゾステージの高精度を維持したまま、ケーブルを5m以上長くしたい。

  • 対応・ご提案

    標準仕様では「ピエゾケーブル」と「センサケーブル」の長さは2mです。
    しかしながら装置内の配線やコントローラ配置の都合上、ケーブル長さを延ばす必要性が生じることがあります。
    このとき単純にケーブルを延長すると電気的ノイズが大きくなり、分解能や繰り返し位置決め精度などに影響を与えることがあります。特に静電容量式変位センサの電気信号は微弱なためケーブル長さはその性能に大きく影響します。
    そこで、通常はコントローラ内部に組み込んでいる“センサアンプ基板”を取り外し中継アンプとしてピエゾステージから近いところで一旦増幅させ、その後ケーブル長さを任意に引き延ばします。
    この方法によりS/N比を劣化させず性能を維持したままケーブル全長を延ばすことが可能になります。

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