最高1nm分解能をもち、応答性にも優れた超精密ステージです。
数mm～数十mmのストロークを20～40nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。
μN～mNレベルの微小力検出タイプと、100Nクラスの高荷重タイプがあります。
様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。
