回転・チルトステージ｜THKプレシジョン株式会社

ピエゾステージ

ピエゾ駆動による回転や角度調整が行えます。角度変位量はわずかながら、高速振動や角度分解能に優れ、光学デバイスの微小角アライメントや精密面合わせなどに最適です。

独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。
摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、微小角の調整用途に適しています。

PT1C

型番	最大振れ角	分解能	共振周波数 [Hz]	耐荷重 [N]	サイズ [mm]
PT1C80-050S	50"[秒]≒0.014°≒0.2mrad	0.05"[秒]≒0.24μrad	5550	10	80×90×20
PT1C60-800S	800"[秒]≒0.22°≒3.9mrad	0.05"[秒]≒0.24μrad	640	10	60×60×20
PT1C60-1800S	1800"[秒]≒0.50°≒ 8.7mrad	0.2"[秒]≒1.0μrad	240	10	60×70×30

PT1G

型番	最大振れ角	分解能	共振周波数 [Hz]	耐荷重 [N]	サイズ [mm]
PT1G100-300S	300"[秒]≒0.08°≒1.5mrad	0.02"[秒]≒0.10μrad	260	20	100×100×30
PT1G100-500S	500"[秒]≒0.14°≒2.4mrad	0.02"[秒]≒0.10μrad	260	20	100×100×30

PT1T / PT3V

型番	最大振れ角、移動量		分解能		共振周波数 [Hz]	耐荷重 [N]	サイズ [mm]
型番	傾斜	昇降	傾斜	昇降	共振周波数 [Hz]	耐荷重 [N]	サイズ [mm]
PT1T60-500S	500"[秒] ≒0.14°≒2.4mrad	-	0.02"[秒]≒0.10μrad	-	1800	10	60×60×30
PT3V80F-400S	±400"[秒]≒±0.11°≒±1.9mrad	100μm	0.02"[秒]≒0.10μrad	2nm	270	10	80×80×32
PT3V100-800S	±800"[秒]≒±0.22°≒±3.9mrad	300μm	0.04"[秒]≒0.19μrad	10nm	230	10	100×100×32

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