回転・チルトステージ
ピエゾステージ
回転・チルトステージ
ピエゾ駆動による回転や角度調整が行えます。 角度変位量はわずかながら、高速振動や角度分解能に優れ、光学デバイスの微小角アライメントや精密面合わせなどに最適です。
弾性ヒンジ機構による回転案内
独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。
摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、微小角の調整用途に適しています。
製品応用例
- レーザ光軸調整
- 精密平行面合わせ
- 光学デバイス微小角調整
- チルト調整
- キャビティ長調整
ラインナップ
PT1C
回転タイプ
PT1C
| 型番 | 最大振れ角 | 分解能 | 共振周波数 [Hz] |
耐荷重 [N] |
サイズ [mm] |
|---|---|---|---|---|---|
| PT1C80-050S | 50"[秒]≒0.014°≒0.2mrad | 0.05"[秒]≒0.24μrad | 5550 | 10 | 80×90×20 |
| PT1C60-800S | 800"[秒]≒0.22°≒3.9mrad | 0.05"[秒]≒0.24μrad | 640 | 10 | 60×60×20 |
| PT1C60-1800S | 1800"[秒]≒0.50°≒ 8.7mrad | 0.2"[秒]≒1.0μrad | 240 | 10 | 60×70×30 |
PT1G
ゴニオタイプ
PT1G
| 型番 | 最大振れ角 | 分解能 | 共振周波数 [Hz] |
耐荷重 [N] |
サイズ [mm] |
|---|---|---|---|---|---|
| PT1G100-300S | 300"[秒]≒0.08°≒1.5mrad | 0.02"[秒]≒0.10μrad | 260 | 20 | 100×100×30 |
| PT1G100-500S | 500"[秒]≒0.14°≒2.4mrad | 0.02"[秒]≒0.10μrad | 260 | 20 | 100×100×30 |
PT1T / PT3V
チルト（＋昇降）タイプ
PT1T / PT3V
| 型番 | 最大振れ角、移動量 | 分解能 | 共振周波数 [Hz] |
耐荷重 [N] |
サイズ [mm] |
||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 傾斜 | 昇降 | 傾斜 | 昇降 | ||||
| PT1T60-500S | 500"[秒] ≒0.14°≒2.4mrad | - | 0.02"[秒]≒0.10μrad | - | 1800 | 10 | 60×60×30 |
| PT3V80F-400S | ±400"[秒]≒±0.11°≒±1.9mrad | 100μm | 0.02"[秒]≒0.10μrad | 2nm | 270 | 10 | 80×80×32 |
| PT3V100-800S | ±800"[秒]≒±0.22°≒±3.9mrad | 300μm | 0.04"[秒]≒0.19μrad | 10nm | 230 | 10 | 100×100×32 |
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ピエゾステージ
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精密モータステージ
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フォースセンサ
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製品応用例