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超音波モータステージ

超音波モータステージ

数十mmの移動範囲を20nmまたは40nmの高い分解能で位置制御できる高精度ステージです。超音波アクチュエータSPPA(Super Precision Piezo Actuator) を採用し、低発熱および摩擦保持による高い静止安定性を備えています。また、真空環境対応や非磁性対応も可能です。

特徴

  • 粗動・微動一体アクチュエータ
  • 自己発熱が少ない
  • 摩擦保持により静止時の安定性が高い
  • リニアエンコーダ内蔵で高い位置再現性

製品応用例

  • 光学系の高精度位置決め
  • レーザーアライメント
  • 精密マッピング測定
  • X線／分析・測定装置
  • 顕微鏡用試料ステージ
  • 位置調整後に静止保持する用途

これらの用途において、主に定点位置決めを要する用途や位置調整後電源を切り静止保持する用途の場合は非常に有効です。

ラインナップ

TS1L80 / TS1L120
X軸ステージ

型番 TS1L80-015A TS1L80-015B TS1L120-035A TS1L120-035B
可動範囲 ±7.5mm ±17.5mm
分解能 20nm 40nm 20nm 40nm
最大移動速度 10mm/sec 10mm/sec
耐荷重 2kg 3kg
光学式内蔵リニアスケール タイプ Type A（ レニショー製） Type B（ THKプレシジョン製） Type A（ レニショー製） Type B（ THKプレシジョン製）
サイズ 80×100×28 80×118×28 120×140×28 120×158×28

TS2L180
XY軸ステージ（開口付き）

型番 TS2L180-015A TS2L180-015B
可動範囲 (X)±7.5mm, (Y)±7.5mm
分解能 20nm 40nm
最大移動速度 10mm/sec
耐荷重 3kg
光学式内蔵リニアスケール タイプ Type A（ レニショー製） Type B（ THKプレシジョン製）
サイズ 180×205×48 180×220×48

TS1R150
回転ステージ

型番 TS1R150-360A
可動範囲 360°
分解能 1"
最大移動速度 5°/sec
耐荷重 3kg
内蔵エンコーダ ロータリーエンコーダ
サイズ 150×170×46

超音波モータステージ用
制御コントローラ

  • 駆動用ドライバとリニアスケール入力回路を内蔵した、超音波モータステージ専用のコントローラです。
  • 最大3軸までの制御が可能です。
  • 制御インターフェースとしてRS232Cを備えており、PCと接続してすぐに動作可能です。
型番 TC1311A TC1322A TC1333A TC1312A
制御軸数 1 2 3 1
接続ステージ 直動1軸 直動2軸 直動3軸 回転1軸
入力センサタイプ リニアスケール/ロータリーエンコーダ 読み取り
制御インターフェース RS232C
制御方式 PIDフィードバック制御（微動送り時）
ドライバ出力電圧 －12V ～ +12V
電源 AC100 ～ 120V / AC200 ～ 240V　切替式


サンプルソフト

RS232C通信用サンプルソフトを無償提供いたします。
サンプルソフトを使用することでPCと接続してすぐに、原点復帰や指定位置移動、現在値表示などの基本動作が行えます。

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