超音波モータステージ
精密モータステージ
超音波モータステージ
数十mmの移動範囲を20nmまたは40nmの高い分解能で位置制御できる高精度ステージです。超音波アクチュエータSPPA(Super Precision Piezo Actuator) を採用し、低発熱および摩擦保持による高い静止安定性を備えています。また、真空環境対応や非磁性対応も可能です。
特徴
- 粗動・微動一体アクチュエータ
- 自己発熱が少ない
- 摩擦保持により静止時の安定性が高い
- リニアエンコーダ内蔵で高い位置再現性
製品応用例
- 光学系の高精度位置決め
- レーザーアライメント
- 精密マッピング測定
- X線／分析・測定装置
- 顕微鏡用試料ステージ
- 位置調整後に静止保持する用途
これらの用途において、主に定点位置決めを要する用途や位置調整後電源を切り静止保持する用途の場合は非常に有効です。
ラインナップ
TS1L80 / TS1L120
X軸ステージ
| 型番 | TS1L80-015A | TS1L80-015B | TS1L120-035A | TS1L120-035B |
|---|---|---|---|---|
| 可動範囲 | ±7.5mm | ±17.5mm | ||
| 分解能 | 20nm | 40nm | 20nm | 40nm |
| 最大移動速度 | 10mm/sec | 10mm/sec | ||
| 耐荷重 | 2kg | 3kg | ||
| 光学式内蔵リニアスケール タイプ | Type A（ レニショー製） | Type B（ THKプレシジョン製） | Type A（ レニショー製） | Type B（ THKプレシジョン製） |
| サイズ | 80×100×28 | 80×118×28 | 120×140×28 | 120×158×28 |
TS2L180
XY軸ステージ（開口付き）
| 型番 | TS2L180-015A | TS2L180-015B |
|---|---|---|
| 可動範囲 | (X)±7.5mm, (Y)±7.5mm | |
| 分解能 | 20nm | 40nm |
| 最大移動速度 | 10mm/sec | |
| 耐荷重 | 3kg | |
| 光学式内蔵リニアスケール タイプ | Type A（ レニショー製） | Type B（ THKプレシジョン製） |
| サイズ | 180×205×48 | 180×220×48 |
TS1R150
回転ステージ
| 型番 | TS1R150-360A |
|---|---|
| 可動範囲 | 360° |
| 分解能 | 1" |
| 最大移動速度 | 5°/sec |
| 耐荷重 | 3kg |
| 内蔵エンコーダ | ロータリーエンコーダ |
| サイズ | 150×170×46 |
超音波モータステージ用
制御コントローラ
- 駆動用ドライバとリニアスケール入力回路を内蔵した、超音波モータステージ専用のコントローラです。
- 最大3軸までの制御が可能です。
- 制御インターフェースとしてRS232Cを備えており、PCと接続してすぐに動作可能です。
| 型番 | TC1311A | TC1322A | TC1333A | TC1312A | |
|---|---|---|---|---|---|
| 制御軸数 | 1 | 2 | 3 | 1 | |
| 接続ステージ | 直動1軸 | 直動2軸 | 直動3軸 | 回転1軸 | |
| 入力センサタイプ | リニアスケール/ロータリーエンコーダ 読み取り | ||||
| 制御インターフェース | RS232C | ||||
| 制御方式 | PIDフィードバック制御（微動送り時） | ||||
| ドライバ出力電圧 | －12V ～ +12V | ||||
| 電源 | AC100 ～ 120V / AC200 ～ 240V 切替式 | ||||
サンプルソフト
RS232C通信用サンプルソフトを無償提供いたします。
サンプルソフトを使用することでPCと接続してすぐに、原点復帰や指定位置移動、現在値表示などの基本動作が行えます。
-
ピエゾステージ
-
精密モータステージ
-
フォースセンサ
-
製品応用例