光学ミラーアライメント用
ピエゾステージ
光学ミラーアライメント用
光学ミラーの角度微調整用に設計したステージです。“高速振動”や“高い位置再現性”に優れており、レーザ光スキャニング、ミラー精密アライメントなどに最適です。
大径ミラーにもカスタム対応
駆動源のピエゾ素子は高い発生力（数百Nクラス）を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。
角度制御も容易
角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ／ドライバを介して簡単に行えます。
製品応用例
- 光軸調整
- キャビティ調整
- レーザ光走査
- レーザ加工
- チルト調整
- 光バイオ
ラインナップ
1軸チルト(θx)
| 型番 | 最大振れ角 | 分解能 | 共振周波数 [Hz] |
耐荷重 [N] |
サイズ [mm] |
|---|---|---|---|---|---|
| PT1M36-500S | 500"[秒]≒0.14°≒2.4mrad | 0.05"[秒]≒0.24μrad | 8000 | 0.3 | 36×42×29 |
2軸チルト(θxθy)
| 型番 | 最大振れ角 | 分解能 | 共振周波数 [Hz] |
耐荷重 [N] |
サイズ [mm] |
|---|---|---|---|---|---|
| PT2M60-240S | （θx/θy）240"[秒]≒0.07°≒1.2mrad | （θx/θy）0.05"[秒]≒0.24μrad | 760 | 0.5 | 60×60×53 |
| PT2M120-500S | （θx/θy）500"[秒]≒0.14°≒2.4mrad | （θx/θy）0.05"[秒]≒0.24μrad | 180 | 5 | 120×120×43 |
| PT2M40-800S | （θx/θy）800"[秒]≒0.22°≒3.9mrad | （θx/θy）0.05"[秒]≒0.24μrad | 330 | 1 | 60×40×45 |
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ピエゾステージ
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精密モータステージ
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フォースセンサ
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製品応用例