光学ミラーアライメント用｜THKプレシジョン株式会社

ピエゾステージ

光学ミラーの角度微調整用に設計したステージです。“高速振動”や“高い位置再現性”に優れており、レーザ光スキャニング、ミラー精密アライメントなどに最適です。

駆動源のピエゾ素子は高い発生力（数百Nクラス）を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。

角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ／ドライバを介して簡単に行えます。

型番	最大振れ角	分解能	共振周波数 [Hz]	耐荷重 [N]	サイズ [mm]
PT1M36-500S	500"[秒]≒0.14°≒2.4mrad	0.05"[秒]≒0.24μrad	8000	0.3	36×42×29

型番	最大振れ角	分解能	共振周波数 [Hz]	耐荷重 [N]	サイズ [mm]
PT2M60-240S	（θx/θy）240"[秒]≒0.07°≒1.2mrad	（θx/θy）0.05"[秒]≒0.24μrad	760	0.5	60×60×53
PT2M120-500S	（θx/θy）500"[秒]≒0.14°≒2.4mrad	（θx/θy）0.05"[秒]≒0.24μrad	180	5	120×120×43
PT2M40-800S	（θx/θy）800"[秒]≒0.22°≒3.9mrad	（θx/θy）0.05"[秒]≒0.24μrad	330	1	60×40×45

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