超精密位置決め装置の専門メーカー

ピエゾステージ

開口付きステージ

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ピエゾステージ
開口付きステージ

ピエゾステージ

開口付きステージ

移動テーブル中央に開口（透過穴）を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。

コンパクトから大開口まで

小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。

スムーズで精確なスキャニング

高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。

走査型プローブ顕微鏡
顕微鏡試料テーブル
分光分析機器
半導体、FPD関連装置
露光装置
マッピング測定

PK1L
開口付きX軸ステージ

PK1L

型番	ストローク [μm]	分解能 [nm]	繰り返し精度 [nm]	共振周波数 [Hz]	耐荷重 [N]	サイズ [mm]
PK1L40-020U-N	-	-	-	6600	5	40×70×10
PK1L60-030U	30	1	±1	2800	10	60×70×16
PK1L45-100U	100	2	±2	490	5	45×55×16

PK2H / PK2L
開口付きXY軸ステージ

PK2H

型番	ストローク [μm]	分解能 [nm]	繰り返し精度 [nm]	共振周波数 [Hz]	耐荷重 [N]	サイズ [mm]
PK2H100-030U	（X,Y）30	（X,Y）1	（X,Y）±1	2500	50	100×100×25
PK2H130-030U	（X,Y）30	（X,Y）1	（X,Y）±1	1500	50	130×130×30
PK2H150-050U	（X,Y）50	（X,Y）2	（X,Y）±2	1200	50	150×150×30

PK2L

型番	ストローク [μm]	分解能 [nm]	繰り返し精度 [nm]	共振周波数 [Hz]	耐荷重 [N]	サイズ [mm]
PK2L60-020U-N	-	-	-	1700	10	60×60×10
PK2L100-080U	（X,Y）80	（X,Y）2	（X,Y）±2	530	10	100×100×30
PK2L64-100U	（X,Y）100	（X,Y）2	（X,Y）±2	300	10	64×64×30
PK2L76F-100U	（X,Y）100	（X,Y）2	（X,Y）±2	240	10	76×76×32
PK2L130-100U	（X,Y）100	（X,Y）2	（X,Y）±2	580	10	130×130×30
PK2L150-100U	（X,Y）100	（X,Y）2	（X,Y）±2	420	10	150×150×30
PK2L150-200U	（X,Y）200	（X,Y）5	（X,Y）±5	370	10	150×150×30
PK2L150-300U	（X,Y）300	（X,Y）10	（X,Y）±10	240	10	150×150×30
PK2L280-200U	（X,Y）200	（X,Y）5	（X,Y）±5	150	20	280×280×28

PKVH / PKVL
開口付きZ軸ステージ

PKVH

型番	ストローク [μm]	分解能 [nm]	繰り返し精度 [nm]	共振周波数 [Hz]	耐荷重 [N]	サイズ [mm]
PKVH60-012U	12	1	±1	2500	10	60×60×36

PKVL

型番	ストローク [μm]	分解能 [nm]	繰り返し精度 [nm]	共振周波数 [Hz]	耐荷重 [N]	サイズ [mm]
PKVL64F-100U	100	2	±2	480	10	64×64×30
PKVL100-100U	100	2	±2	480	10	100×100×30
PKVL84F-300U	300	10	±10	210	10	84×84×30
PKVL60-100U	100	2	±2	380	5	74×60×22
PKVL60-200U	200	5	±5	350	5	74×60×22
PKMVL160-200U	200	5	±5	150	10	160×240×24

PK3H / PK3L
開口付きXYZ軸ステージ

PK3H

型番	ストローク [μm]	分解能 [nm]	繰り返し精度 [nm]	共振周波数 [Hz]	耐荷重 [N]	サイズ [mm]
PK3H130-030UA	（X,Y）30,（Z）20	（X,Y,Z）1	（X,Y,Z）±1	820	10	130×130×30
PK3H150-050UA	（X,Y）50,（Z）30	（X,Y）2,（Z）1	（X,Y）±2,（Z）±1	670	10	150×150×30

PK3L

型番	ストローク [μm]	分解能 [nm]	繰り返し精度 [nm]	共振周波数 [Hz]	耐荷重 [N]	サイズ [mm]
PK3L150-100UA	（X,Y）100,（Z）30	（X,Y）2,（Z）1	（X,Y）±2,（Z）±1	430	10	150×150×30
PK3L150-100U	（X,Y,Z）100	（X,Y,Z）2	（X,Y,Z）±2	350	10	150×150×30
PK3L150-200UA	（X,Y）200,（Z）100	（X,Y）5,（Z）2	（X,Y）±5,（Z）±2	280	10	150×150×30
PK3L150-300UA	（X,Y）300,（Z）100	（X,Y）10,（Z）2	（X,Y）±10,（Z）±2	210	10	150×150×30

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検査・測定から製造装置にいたるまで

様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。

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