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X軸_歪みゲージ式汎用モデル

X軸_歪みゲージ式汎用モデル

内蔵変位センサとして「歪みゲージ式センサ」を採用しコストを抑えた汎用ピエゾステージです。 20nmの移動分解能とフィードバック制御により信頼性の高い位置決めが行え、優れた高速応答性を備えています。

PS1L＊＊-S

SCROLL
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型番 PS1L60-200U-S PS1L60-400U-S
外観 X軸_歪みゲージ式汎用モデル
ストローク(クローズドループ時) 200μm 400μm
分解能 20nm 50nm
繰り返し位置決め精度 ±20nm ±50nm
耐荷重 5N 5N
共振周波数（0g負荷時） 470Hz 290Hz
内蔵変位センサ 歪みゲージ式変位センサ
本体材質 アルミ + 鋼
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PS1L　歪みゲージ式汎用モデル PS1L　歪みゲージ式汎用モデル
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