光学ミラーアライメント用
光学ミラーの角度微調整用に設計したステージです。“高速振動”や“高い位置再現性”に優れており、レーザ光スキャニング、ミラー精密アライメントなどに最適です。
大径ミラーにもカスタム対応
駆動源のピエゾ素子は高い発生力（数百Nクラス）を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。
角度制御も容易
角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ／ドライバを介して簡単に行えます。
製品応用例
- 光軸調整
- キャビティ調整
- レーザ光走査
- レーザ加工
- チルト調整
- 光バイオ
1軸チルト(θx)
| 型番 | PT1M36-500S | PT1T60-500S | |
|---|---|---|---|
| 外観 |  |
 |
|
| 最大振れ角 | クローズ時 | 500"［秒］≒0.14° ≒2.4mrad |
500"［秒］≒0.14° ≒2.4mrad |
| オープン時 | 630"［秒］≒0.175° ≒3.1mrad |
550"［秒］≒0.15° ≒2.6mrad |
|
| 分解能 | 0.05"［秒］≒0.24μrad | 0.02"［秒］≒0.10μrad | |
| 繰り返し位置決め精度 | ±0.05"［秒］≒±0.24μrad | ±0.02"［秒］≒±0.10μrad | |
| 耐荷重 | 0.3N | 10N | |
| 共振周波数（0g負荷時） | 8000Hz | 1800Hz | |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | ||
| 本体材質 | アルミ | ||
2軸チルト(θxθy)
| 型番 | PT2M60-240S | PT2M120-500S | PT2M40-800S | |
|---|---|---|---|---|
| 外観 |  |
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| 最大振れ角 | クローズ時 | （θx,θy）240"［秒］≒0.07° ≒1.2mrad |
（θx,θy）500"［秒］≒0.14° ≒2.4mrad |
（θx,θy）800"［秒］≒0.22° ≒3.9mrad |
| オープン時 | （θx,θy）290"［秒］≒0.08° ≒1.4mrad |
（θx,θy）580"［秒］≒0.16° ≒2.8mrad |
（θx,θy）900"［秒］≒0.25° ≒4.4mrad |
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| 分解能 | （θx,θy）0.05"［秒］≒0.24μrad | |||
| 繰り返し位置決め精度 | （θx,θy）±0.05"［秒］≒±0.24μrad | |||
| 耐荷重 | 0.5N | 5N | 1N | |
| 共振周波数（0g負荷時） | 760Hz | 180Hz | 330Hz | |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | |||
| 本体材質 | アルミ | アルミ | アルミ＋鋼 | |
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