XY軸_スタンダードモデル
1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ
2つの機構で性能分類
高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。
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直接駆動機構
- 圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。
- ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。
- 剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。
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変位拡大機構
- 圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。
- 拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。
- 内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。
製品応用例
- 半導体、FPD検査装置
- HDDテスタ
- レーザ光学系アライメント
- 干渉系機器
- 分析機器
- ナノメータポジショニング
PS2H / PS2L 標準直動XY軸ステージ
PS2H 直接駆動機構
| 型番 | PS2H60-012U | PS2H95-012U | PS2H60-030U | PS2H110-030U |
|---|---|---|---|---|
| 外観 |  |
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| ストローク（クローズドループ時） | （X, Y）12 μm | （X, Y）30 μm | ||
| 分解能 | （X, Y）1 nm | |||
| 繰り返し位置決め精度 | （X, Y）±1 nm | |||
| 耐荷重 | 10N | |||
| 共振周波数（0g負荷時） | 2000 Hz | 3800 Hz | 1600 Hz | 3400 Hz |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | |||
| 本体材質 | アルミ | アルミ | アルミ | アルミ |
PS2L 変位拡大機構
| 型番 | PS2L50-050U | PS2L92-050U | PS2L100-080U | PS2L50-100U | PS2L60-250U |
|---|---|---|---|---|---|
| 外観 |  |
 |
 |
 |
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| ストローク（クローズドループ時） | （X,Y）50μm | （X,Y）80μm | （X,Y）100μm | （X,Y）250μm | |
| 分解能 | （X,Y）2nm | （X,Y）10nm | |||
| 繰り返し位置決め精度 | （X,Y）±2nm | （X,Y）±10nm | |||
| 耐荷重 | 5N | 10N | 10N | 5N | 5N |
| 共振周波数（0g負荷時） | 420Hz | 1300Hz | 480Hz | 280Hz | 120Hz |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | ||||
| 本体材質 | アルミ+鋼 | アルミ | アルミ | アルミ+鋼 | アルミ |
機構およびストロークと分解能、共振周波数の比較一覧
応答性の速い動作や高分解能を求める場合は、ストロークを必要最小限に抑えることをおすすめします。
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