X軸ステージ
数mm～数十mmのストロークを20～40nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。アクチュエータにPiezoMotor社のPiezoLEGS®アクチュエータを採用したステージです。アクチュエータ推力に6Nタイプと20Nタイプがあり、静止時も推力とほぼ同じ保持力を維持し、静止時の安定性, 外乱に対し高い位置精度を保ちます。本体材質としてアルミ製モデルとSUS製モデルを用意しています。
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特徴
- スリムで省スペース
- 自己発熱が少ない
- 真空環境対応、非磁性対応
- リニアエンコーダ内蔵で高い位置再現性
製品応用例
- 光学系の高精度位置決め
- レーザーアライメント
- 精密マッピング測定
- X線／分析・測定装置
- 顕微鏡用試料ステージ
- 位置調整後に静止保持する用途
これらの用途において、主に定点位置決めを要する用途や位置調整後電源を切り静止保持する用途の場合は非常に有効です。
LS1L46 / LS1L60 X軸ステージ
| 型番 | LS1L60-08B-06 | LS1L60F-08B-06 |
|---|---|---|
外観 |
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可動範囲 |
±4 mm（ 全範囲8 mm） |
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分解能 |
40 nm |
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繰り返し位置決め精度 |
±40 nm |
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最大移動速度 |
5 mm/sec |
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耐荷重 |
1 kg |
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推力 |
6 N |
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内蔵光学式リニアスケールタイプ |
THKプレシジョン製 |
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本体 質量 |
250 g |
550 g |
本体 材質 |
アルミ |
SUS |
LS1L90 X軸ステージ
| 型番 | LS1L90-16A-06 | LS1L90-16A-20 | LS1L90F-16A-06 | LS1L90F-16A-20 | LS1L90-16B-06 | LS1L90-16B-20 | LS1L90F-16B-06 | LS1L90F-16B-20 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
外観 |
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可動範囲 |
±8mm（ 全範囲16 mm） |
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分解能 |
20 nm |
40 nm |
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繰り返し位置決め精度 |
±20 nm |
±40 nm |
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最大移動速度 |
5 mm/sec |
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耐荷重 |
2 kg |
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推力 |
6 N |
20 N |
6 N |
20 N |
6 N |
20 N |
6 N |
20 N |
内蔵光学式リニアスケールタイプ |
レニショー製 |
THKプレシジョン製 |
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本体 質量 |
650 g |
1350 g |
650 g |
1350 g |
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本体 材質 |
アルミ |
SUS |
アルミ |
SUS |
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LS1L120 X軸ステージ
| 型番 | LS1L120-25A-06 | LS1L120-25A-20 | LS1L120F-25A-06 | LS1L120F-25A-20 | LS1L120-25B-06 | LS1L120-25B-20 | LS1L120F-25B-06 | LS1L120F-25B-20 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
外観 |
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可動範囲 |
±12.5mm（ 全範囲25 mm） |
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分解能 |
20 nm |
40 nm |
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繰り返し位置決め精度 |
±20 nm |
±40 nm |
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最大移動速度 |
5 mm/sec |
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耐荷重 |
3 kg |
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推力 |
6 N |
20 N |
6 N |
20 N |
6 N |
20 N |
6 N |
20 N |
内蔵光学式リニアスケールタイプ |
レニショー製 |
THKプレシジョン製 |
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本体 質量 |
1.0 kg |
2.2 kg |
1.0 kg |
2.2 kg |
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本体 材質 |
アルミ |
SUS |
アルミ |
SUS |
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LS1L60(F)-08B-06
LS1L90(F)-16A-06(20)
LS1L120(F)-25A-06(20)
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